土壌汚染状況調査では、まず調査対象地について、調査実施主体（土地所有者等）が容易に入手できる範囲内で入手した情報に基づいて、特定有害物質の過去の使用状況等を把握する。
その次に、特定有害物質の濃度を測定するために、特定有害物質の種類に応じて、土壌ガス調査・土壌溶出量調査・土壌含有量調査のいずれか（または複数）を実施することとされている。
このうち土壌ガス調査は、トリクロロエチレン等の全部で12種類の揮発性有機化合物（第一種特定有害物質）が存在する可能性がある事例において、それらの物質の濃度を測定する調査である。調査は具体的にはおおよそ次の手順で実施される。
1.地表からおおむね80〜100cmの地中において土壌ガスを採取し、第一種特定有害物質の量を測定する。
2.土壌ガス中に一定濃度以上の第一種特定有害物質が検出された場合には、土壌汚染が存在する恐れが最も多いと認められる地点において、深さ10mまでの土壌をボーリングにより採取し、土壌溶出量を測定するという追加調査の実施が必要となる（同施行規則第7条）。